반도체 제조장치 및 정밀계측장비 제조업체인 아크레텍코리아(동경정밀)가 쎄닉에 실리콘카바이드(SiC) 반도체 웨이퍼 양산 장비를 공급한다.
아크레텍코리아는 18일 쎄닉과 4~8인치 SiC 반도체 웨이퍼 양산용 장비에 대한 공급계약을 체결했다고 밝혔다.
이번 계약에 따라 아크레텍코리아가 제조한 그라인더(Grinder)와 CMP 모디피케이션(CMP Modification) 등의 장비는 충남 천안에 위치한 쎄닉의 신규 공장 연구생산시설로 반입될 예정이다.
쎄닉은 사모펀드 REF운용사인 파라투스인베스트먼트가 SKC으로부터 700억원에 인수한 회사로, 국내에서 유일하게 SiC 웨이퍼 생산 전 공정 자체 기술을 보유하고 있다.
전 공정 기준 6인치 SiC 웨이퍼를 생산하는 자체 기업은 세계적으로 4곳에 불과하며, 국내에서는 쎄닉이 유일하다. 이번 계약에 따라 장비 공급이 이뤄지면 기존 6인치로 한정된 SiC 기반에 4~8인치까지 추가 옵션을 갖추게 된다.
이상철 아크레텍코리아 대표는 "쎄닉과 함께 기존 6인치 단계에 머물러 있는 SiC 전력반도체를 8인치까지 한 단계 레벨업 할 수 있는 기회"라며 "성공적인 시장 선점을 위해 적극적인 지원에 나설 것"이라고 말했다.
